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微电子产品用超纯水设备在工艺上主要有三种

浏览次数:177次发表时间:2021-08-16

  微电子产品用超纯水设备的概述:
  微电子行业对水质要求相对来说更加严格,更加高。常要求超纯水的电阻值应高于15兆以上。我们公司从超纯水的特点出发,针对不同用户对超纯水的不同要求,采用反渗透,EDI等新工艺,比较有针对性地设计出成套超纯水处理工艺,以满足微电子行业的用水要求。

  微电子行业用超纯水设备的水质标准:
  1、2000版药典标准;
  2、GMP标准;
  3、电阻率:≥15MΩ.CM;
  4、电导率:≤0.5μS;
  5、氨≤0.3μg/ml;
  6、硝酸盐≤0.06μg/ml;
  7、重金属≤0.5μg/ml。
 
  目前微电子产品用超纯水设备的工艺基本上是以上三种,其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优点分别列于下面:
  第1种,采用离子交换树脂其优点在于初投资少,占用的地方少;
  第2种,采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备,其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高,但离子设备再生周期相对要长,耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多;
  第3种,采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置,这是目前制取超纯水经济,环保用来制取超纯水的工艺,不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水,对环境没什么破坏性。
 
  主要特点:
  1、脱盐率大于99.9%,效率远远高于两级反渗透和单纯的离子交换;
  2、电脑元件用超纯水设备的自动化程度高,易维护,可设计成完善的膜技术高纯水生产线;
  3、离子交换树脂不需用酸碱再生,节约大量酸碱和清洗用水,降低劳动强度;
  4、清洁生产,无废水处理问题,利于环保;
  5、电脑元件用超纯水设备采用的先进技术较传统的离子交换法脱盐节约树脂95%以上;
  6、占地面积小,单一系统连续运转,不需建设备用系统;
  7、微电子产品用超纯水设备的产水电阻率15~18MΩ·cm,pH6.5~7.0,硅<1.0ppb,实现了彻底无菌。
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