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有关单晶硅炉用超纯水设备的工艺流程,我们准备了三种

浏览次数:113次发表时间:2021-09-22

  单晶硅也叫单晶,是电子材料中基础的材料,属于半导体材料,单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、太阳能电池等领域。单晶硅炉用超纯水设备采用先进的反渗透技术和EDI技术相结合的制水工艺,具有制水效果优良,操作简单等优点。

 

  三种工艺流程:
  1、采用离子交换方式,其流程如下:
  原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点;
  2、采用两级反渗透方式,其流程如下:
  原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点;
  3、采用EDI方式,其流程如下:
  原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点;
  随着膜分离技术的不断成熟,现在单晶硅炉用超纯水设备常常采用反渗透过滤工艺,或者是采用一级反渗透后面再经过离子交换混床工艺来制取超纯水。
 
  单晶硅炉用超纯水设备的使用特点:
  1、整体化程度高,易于扩展,增加膜数量即可增加处理量;
  2、自动化程度高,遇故障立即自停,具有自动保护功能;
  3、膜组件为复合膜卷制而成,表现出更高的溶质分离率和透过速率;
  4、能耗低,水利用率高,运行成本低;
  5、结构合理,占地面积少;
  6、先进的膜保护系统,在设备关机,淡化水可自动将膜面污染物冲洗干净,延长膜寿命;
  7、系统无易损部件,无须大量维修,运行长期有效;
  8、设备设计有膜清洗系统用阻垢系统。
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