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单晶硅炉用超纯水设备

单晶硅中电解液的配备对纯水要求十分严格,通常要求水的电导率在0.1us/cm(电阻值在10兆欧姆)以上,传统用来制备电池用超纯水的工艺是常采用阴阳树脂交换设备,该单晶硅炉用超纯水设备工艺的缺点在于树脂在使用一段时间以后要经常再生。

更新时间:2020-07-08
产品型号:ZSCE-5000L
厂商性质:生产厂家
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    单晶硅中电解液的配备对纯水要求十分严格,通常要求水的电导率在0.1us/cm(电阻值在10兆欧姆)以上,传统用来制备电池用超纯水的工艺是常采用阴阳树脂交换设备,该工艺的缺点在于树脂在使用一段时间以后要经常再生。下面大家介绍几种比较适合单晶硅炉用超纯水设备的工艺。

 

  1、采用离子交换方式,其流程如下:

 

  原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点

 

  2、采用两级反渗透方式,其流程如下:

 

  原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→*级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

 

  3、采用EDI方式,其流程如下:

 

  原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

 

  随着膜分离技术的不断成熟,现在单晶硅超纯水设备常常采用反渗透过滤工艺,或者是采用一级反渗透后面再经过离子交换混床(或电去离子EDI)工艺来制取超纯水。

 

    优点:

 

    1、无需酸碱再生:在混床中树脂需要用化学药品酸碱再生,而EDI则消除了这些有害物质的处理和繁重的工作,保护了环境。

 

    2、连续、简单的操作:在混床中由于每次再生和水质量的变化,使操作过程变得复杂,而EDI的产水过程是稳定的连续的,产水水质是恒定的,没有复杂的操作程序,操作大大简便化。

 

    3、降低了安装的要求:EDI系统与相当处理水量的混床相比,有较不的体积,它采用积木式结构,可依据场地的高度和窨灵活地构造。模块化的设计,使EDI在生产工作时能方便维护。

 

    单晶硅炉用超纯水设备主要配置:

 

    1、预处理系统:原水箱(选配)、原水箱液位、控制器、原水进水、电磁阀、原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、全自动软水器、管路、阀门。

 

    2、RO反渗透系统:一级高压泵、二级高压泵、一级反渗透膜、二级反渗透膜、反渗透膜壳、膜架、控制系统、进水电磁阀、冲洗电磁阀、调压阀、高压开关、低压开关、精密过滤器。

 

    3、储存系统:液位控制器中间水箱纯水箱。

 

    4、IX离子交换系统:给水泵、再生泵、树脂容器、离子交换树脂、管路、阀门、机架。

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