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微电子产品用高纯水设备

微电子产品用高纯水设备通常由全自动多介质过滤器,全自动活性碳过滤器,全自动软化器、精密过滤器等构成前期预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。

更新时间:2020-09-01
产品型号:ZSCJ3000L
厂商性质:生产厂家
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一、微电子产品用高纯水设备说明:

为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量.在工艺设计上,取达国家自来水标准的水为源水,再设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等。

系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。

执行标准:严格执行现行的各种水处理标准(生活饮用水标准、实验室用水标准、电子工业部高纯水标准等),不断的在工艺设计和材料选择上进行改进,以满足先行的各种标准。

 二、微电子产品用高纯水设备的组成:

 1、预处理系统

 反渗透进水中含有的难溶盐及相关成分达到下表中所列的浓度时,均应在预处理中采取相应措施,以防止反渗透膜结垢,预处理功能强大,自保护好,对各类杂质去除效率也较高。

 2、反渗透系统

 采用优质进口RO膜。具有极强筛分作用,它的性能极其稳定,在系统既定压力下,只能透水而不透过溶质。因此,能精密滤除水中的细菌、病毒、盐类及各种致癌物质。脱盐率≥99%。反渗透系统具备自动清洗功能,有效预防反渗透膜结垢堵塞,保证其持续高效的运行。

 3、混床系统

采用优质核子级抛光混床四柱树脂。超纯化处理系统的设置,使得水中离子被全部除去。通过该系统的产水水质电阻率高可达到18、2兆欧/厘米,已足以满足不同实验基本应用的要求。

 4、紫外消毒

 采用特殊光源双波长紫外灯。因其性能,超纯水在该紫外灯内再经过6道循环处理过程,既彻底除灭了残余的细菌,又彻底降解了残留的痕量有机物。

三、工艺流程:

 1、预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外灯-用水点

 2、 预处理-一级反渗透-二级反渗透-纯化水箱-紫外灯-用水点

 3、预处理-反渗透-中间水箱-中间水泵-EDI装置-纯化水箱-紫外灯-用水点

 4、预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→抛光混床→用水点

 

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