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微电子产品用超纯水设备

微电子产品用超纯水设备是利用一种将离子交换技术、离子电迁移技术和离子交换膜技术相互结合在一起的超纯水工艺技术。设备已经属于科技绿色环保的技术,微电子用超纯水设备的产水水质的电阻率可以达到18.2兆欧以上。


更新时间:2021-03-04
产品型号:ZSCJ-5000L
厂商性质:生产厂家
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  • 产品详细
  一、概述
 
  微电子产品用超纯水设备应用于半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。
 
  二、微电子产品用超纯水设备应用领域
 
  1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
 
  2、超纯材料和超纯化学试剂;
 
  3、实验室和中试车间;
 
  4、汽车、家电表面抛光处理;
 
  5、光电产品;
 
  6、其他高科技精微产品;
 
  三、微电子用超纯水设备技术要求
 
  1、采用全自动控制(同时亦可采用手动控制),系统运行时可设定自动反洗、再生程序。
 
  2、一级反渗透和二级反渗透设有回流管道,设备设有化学清洗装置和消毒装置反渗透膜采用美国进口反渗透膜,以保证设备能长期稳定运行。
 
  3、反渗透管路采用不锈钢和UPVC等优质材料。
 
  4、在一级反渗透和第二级反渗透设备中均装有在线电导检测仪。
 
  5、反渗透系统设有低压保护和高压保护开关。
 
  6、反渗透水回收率可调,一级反渗透回收率60-70%,二级反渗透回收率70-80%。
 
  7、循环输送管道装有紫外线杀菌器和微孔过滤器,保证水符合卫生要求。
 
  四、微电子用超纯水设备性能
 
  1、主要零部件均采用世界产品,经CAD设计,技术先进,性能可靠、产水性能优良。
 
  2、前置预处理保护装置,确保高压泵及反渗透膜不受硬物损坏。
 
  3、脱盐率高,运行压力低的卷式复合膜提高了系统效率,并除低了运行成本。
 
  4、产品浓缩水各设有流量计,以监视并调节运行出水量及系统回收率。
 
  5、在线电导仪表连续监测产品水质,带有设定值和报警。
 
  6、进水及排水系统压力表监测反渗透压差,提示清洗时间,全面的系统监视,自动的仪表显示。
 
  7、灵敏的高压、低压开关,防止在异常状况下对设备的损坏,确保系统的正常运转。
 
  8、先进的膜保护系统定时冲洗膜表面,降低污染速度,延长膜使用寿命。
 
  9、微电子用超纯水设备脱盐率95%以上,单支膜脱盐率超过99%,操作经济。具有标准性完全根据用户要求,进行设计。
 

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